# Kínai EUV fényforrás prototípust mutattak be

2026. október 16. 20:54

> A Langdao Silex bemutatta a 15 wattos FlintNano LPP-OXXO rendszert, amely jelentős mérföldkő a kínai félvezetőipar fejlődésében.

A sanghaji 26. **Kínai Nemzetközi Ipari Vásáron** a **Langdao Silex** bemutatta legújabb extrém ultraibolya (EUV) fényforrás prototípusát. A **FlintNano LPP-OXXO** rendszer 15 watt feletti kimeneti teljesítményt nyújt, alkatrészeinek 90 százaléka pedig kínai forrásból származik.

A technológia lézerrel előállított plazmán alapul, 1000 wattos meghajtó lézerrel és 2 százalék feletti konverziós hatékonysággal. A rendszer 100 órás folyamatos működésre képes, 3 százalékos plazmastabilitás és 100 W/(mm²·sr) fényforrás-fényerő biztosítása mellett.

Bár az **ASML** már 2018-ban 250 wattos forrásokat használt, a Langdao 15 wattos egysége fontos mérföldkő a kínai félvezetőipar számára. A 2024-ben alapított cég már fejleszti a **FlintMicro-LPP** nagy teljesítményű forrást, amely túl van az elvi igazolási szakaszon.


#félvezetőgyártás #EUV #LangdaoSilex [#technológia](<https://hardverfokusz.hu/hashtag/technol%C3%B3gia>) [#Kína](<https://hardverfokusz.hu/hashtag/k%C3%ADna>)

## Kapcsolódó hírek

## [Kína szigorítja az AI-technológiák exportját](<https://hardverfokusz.hu/article/kina-szigoritja-az-ai-technologiak-exportjat-872394b0>)

2026. október 17. 16:29

## [Kiderült, miért szilárdul meg a folyékony fém](<https://hardverfokusz.hu/article/kiderult-miert-szilardul-meg-a-folyekony-fem-9a532d68>)

2026. október 16. 18:41

## [Kiszivárogtak az Intel Nova Lake processzorok](<https://hardverfokusz.hu/article/kiszivarogtak-az-intel-nova-lake-processzorok-501170b7>)

2026. október 16. 17:32

## [Kína több száz ASML-rendszert vásárolt az elmúlt években](<https://hardverfokusz.hu/article/kina-tobb-szaz-asml-rendszert-vasarolt-az-elmult-evekben-3d5d358c>)

2026. október 5. 15:43

## [3D NAND gyártósorral bővülhet a kínai CXMT](<https://hardverfokusz.hu/article/3d-nand-gyartosorral-bovulhet-a-kinai-cxmt-731e00e3>)

2026. szeptember 19. 09:17