A sanghaji 26. Kínai Nemzetközi Ipari Vásáron a Langdao Silex bemutatta legújabb extrém ultraibolya (EUV) fényforrás prototípusát. A FlintNano LPP-OXXO rendszer 15 watt feletti kimeneti teljesítményt nyújt, alkatrészeinek 90 százaléka pedig kínai forrásból származik.
A technológia lézerrel előállított plazmán alapul, 1000 wattos meghajtó lézerrel és 2 százalék feletti konverziós hatékonysággal. A rendszer 100 órás folyamatos működésre képes, 3 százalékos plazmastabilitás és 100 W/(mm²·sr) fényforrás-fényerő biztosítása mellett.
Bár az már 2018-ban 250 wattos forrásokat használt, a Langdao 15 wattos egysége fontos mérföldkő a kínai félvezetőipar számára. A 2024-ben alapított cég már fejleszti a FlintMicro-LPP nagy teljesítményű forrást, amely túl van az elvi igazolási szakaszon.